장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
Photo공정-회전건조기 (Spin Rinser Dryer)
모델명
SRD 480S
제작사(국가)
PTL 코리아(대한민국)
제작년도
2012
용도
생산
분류
시험장비
취득일
2012.05.25
장비설명
반도체용 Wafer나 조명소자용 ITO 기판을 Wet station 설비에서 Chemical 처리 후 내부 Chuck을 이용하여 회전시키는 동안 DI Water로 Rinse하며 Heating된 질소로 분사하여 건조
20개의 기판이 거치되는 Teflon Jig를 내부에 고정시킨 후 회전하여 최종적으로 기판의 패터닝 전처리
장비구성

성능
Spin Dryer
200 mm ⅹ 200 mm 전용 PTFE Cassette Jig 사용 (20 ea)
Program Recipe 설정에 따라 회전, 초순수 공급 및 N2 건조 설정
Drain 부에 설치된 비저항 센서로 세척되는 초순수 내 잔여불순물 확인
공정 Recipe 설정/저장 및 동작 Mode 선택을 통한 장비운영
NTIS NO
NFEC-2013-01-173722
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
강원 철원군 서면 금강로 7194 .(재)철원플라즈마산
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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